Як вибрати турбомолекулярний насос

11-25-2020

Вакуумная система Ulvac YTP-300MB

Створення форвакууму для турбомолекулярних насосів

Багато аналітичних додатків (таких як мас-спектрометрія, електронна мікроскопія та аналіз поверхонь) вимагають застосування високого вакууму. Для створення необхідного високого вакууму, як правило, використовують  турбомолекулярные насосы vacuumdom.com . Ці насоси не можуть працювати безпосередньо при атмосферному тиску, тому в відкачувальну систему завжди включають форвакуумний насос. Використання безмасляних мембранних насосів для створення форвакуума в поєднанні з сучасними турбомолекулярними насосами дає відмінний результат – високий вакуум без слідів масла. У багатьох випадках такий вакуум незамінний.

Вимоги процесу

  • якщо високовакуумна система працює у відсутності натікання газів, граничний вакуум мембранного насоса можна прийняти за рівень форвакуума. Продуктивність мембранного насоса, в цьому випадку, впливає тільки на час відкачування. У разі істотного натікання газів форвакуумний насос повинен мати достатню продуктивність, щоб гарантувати необхідний рівень вакууму в форлінії високовакуумного насоса. Для таких додатків слід вибирати мембранні насоси, що мають високу продуктивність (навіть поблизу граничного вакууму).
  • при роботі з високими навантаженнями по газу (пов’язані з процесом подачі газу або витоку газу), форвакуумний насос повинен забезпечувати необхідний рівень форвакуума для високовакуумного насоса. Визначальною характеристикою в цьому випадку є продуктивність мембранного насоса при його граничному вакуумі. Всі насоси vacuubrand задовольняють цим вимогам завдяки унікальному дизайну конструкції мембран.

Вимоги до вакуумного насоса

  • граничний вакуум мембранного насоса, що задовольняє вимоги високовакуумного насоса – до 0.3 мбар, з  вакуумного насоса vacuumdom.com
  • висока швидкість відкачування навіть при тисках, близьких до граничних
  • низьке споживання енергії
  • низький рівень витоку через зворотне всмоктування, запобігання розгерметизації в разі збою живлення
  • висока надійність для безперервної роботи
  • стійкість до конденсату
  • високий граничний вакуум, довгий термін служби для турбо насосів
  • надійний запуск навіть під вакуумом
  • малі розміри, мала вага і низькі вібрації